利用壓電材料制作微電機(jī)的方法

壓電材料是制作微電機(jī)的理想材料。這是因?yàn)閴弘姴牧蟽H加電場(chǎng)就能自己產(chǎn)生變形。壓電性薄膜可以通過(guò)許多途徑獲得，方便地制成微小主動(dòng)結(jié)構(gòu)體。利用壓電材料制作有三種方法：
　　1、利用壓電材料本身的變形，在很小行程下(微米以下)工作；
　　2、應(yīng)用杠桿原理或與彈性體結(jié)合成復(fù)合結(jié)構(gòu)(如：雙壓電晶片、蘭杰文振子)，擴(kuò)大壓電材料本身的變形(幾百微米以下)；
　　3、將壓電陶瓷產(chǎn)生的變形設(shè)法無(wú)限延長(zhǎng)。這主要有三種類型，利用共振生成行波或駐波的超聲波電機(jī)，組合成箱位結(jié)構(gòu)的蠕動(dòng)式電機(jī)，利用慣性停/滑原理的慣性式電機(jī)。
　　微電機(jī)中，壓電式和電磁式輸出功率較大，產(chǎn)業(yè)化前景較好。